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控制舱（正视图）：2100（长）×2020（高度）×1200（宽）
压力 10±5Pa
密封性 静态泄漏率：1KPa相对压强下，泄漏率≤0.5×10-3m3/min
保温箱体 聚氨脂和保温板，外壁为钢板，白色喷涂；内壁：304不锈钢板
本底浓度
甲醛本底浓度＜0.006mg/m3 ， TVOC本底浓度＜0.01mg/m³。单项VOC本底浓度＜0.002mg/m3
清洁气体供应系统 1、压缩空气：气量：2 m3/h；
2、高效微粒过滤器：处理大风量：2m3/h，处理后，气体中的污染物浓度要求：直径大于0.5um的微粒浓度<100个/ m3。